近年隨著科技的一直提高和國(guó)民需求的日益增添，我國(guó)半導(dǎo)體消費(fèi)行業(yè)得到了較快的開(kāi)展，然而隨之而來(lái)是少量的半導(dǎo)體廢水排放問(wèn)題。

（1）二級(jí)反映＋一級(jí)助凝＋一級(jí)積淀，體系出水氟離子濃度基礎(chǔ)到達(dá)＜Zomg÷L請(qǐng)求；若增添一級(jí)積淀，即用二級(jí)反映＋積淀＋一級(jí)反映＋積淀的兩階段積淀反映，體系出水氟離子濃度可掌握在10mg/L以下。

（2）濃氨吹脫吸出工藝－含氟廢水兩階段積淀工藝（含氟廢水與CMP研磨廢水混雜解決）一三級(jí)酸堿中和解決工藝。

（3）兩級(jí)反映池、酸堿原液間接投加，運(yùn)行出水不穩(wěn)固且藥劑消費(fèi)量很大。 

（4）反沖刷過(guò)濾器，是一種應(yīng)用濾網(wǎng)間接阻攔水中的雜質(zhì)，去除水體懸浮物、顆粒物，下降濁度，污染水質(zhì)，增添體系污垢、菌藻、銹蝕等發(fā)生，以污染水質(zhì)及掩護(hù)體系其余裝備正常任務(wù)的裝備。經(jīng)反沖刷過(guò)濾器解決后的水質(zhì)豈但到達(dá)了國(guó)度規(guī)則的廢水排放規(guī)范，經(jīng)反沖刷過(guò)濾器解決后的水源可反復(fù)、循環(huán)應(yīng)用有效的節(jié)儉了水資源。