近年隨著科技的一直提高和國民需求的日益增添,我國半導(dǎo)體消費(fèi)行業(yè)得到了較快的開展,然而隨之而來是少量的半導(dǎo)體廢水排放問題。
(1)二級反映+一級助凝+一級積淀,體系出水氟離子濃度基礎(chǔ)到達(dá)<Zomg÷L請求;若增添一級積淀,即用二級反映+積淀+一級反映+積淀的兩階段積淀反映,體系出水氟離子濃度可掌握在10mg/L以下。
(2)濃氨吹脫吸出工藝-含氟廢水兩階段積淀工藝(含氟廢水與CMP研磨廢水混雜解決)一三級酸堿中和解決工藝。
(3)兩級反映池、酸堿原液間接投加,運(yùn)行出水不穩(wěn)固且藥劑消費(fèi)量很大。
(4)反沖刷過濾器,是一種應(yīng)用濾網(wǎng)間接阻攔水中的雜質(zhì),去除水體懸浮物、顆粒物,下降濁度,污染水質(zhì),增添體系污垢、菌藻、銹蝕等發(fā)生,以污染水質(zhì)及掩護(hù)體系其余裝備正常任務(wù)的裝備。經(jīng)反沖刷過濾器解決后的水質(zhì)豈但到達(dá)了國度規(guī)則的廢水排放規(guī)范,經(jīng)反沖刷過濾器解決后的水源可反復(fù)、循環(huán)應(yīng)用有效的節(jié)儉了水資源。