眾所周知,半導(dǎo)體廢水中含有高濃度的化學(xué)藥劑、重金屬及微粒污染物,若未經(jīng)妥善處理直接排放,將對自然水體造成不可逆轉(zhuǎn)的損害。因此,半導(dǎo)體廢水的循環(huán)回用處理技術(shù)成為了實現(xiàn)綠色制造、促進可持續(xù)發(fā)展的重要手段。接下來,由小編為大家介紹半導(dǎo)體廢水循環(huán)回用處理。
半導(dǎo)體廢水循環(huán)回用處理技術(shù)常用以下幾種工藝:
1.預(yù)處理階段
物理沉淀:通過調(diào)節(jié)pH值促進顆粒物凝聚沉降,初步去除懸浮物。
過濾:采用精密過濾器或超濾膜去除細小顆粒和部分溶解性有機物,為后續(xù)處理做準備。
2.高級凈化技術(shù)
反滲透(RO):利用半透膜在高壓下分離水分子與溶解性鹽類、有機物等,實現(xiàn)高度凈化。
電滲析(ED):利用電場驅(qū)動離子透過選擇性膜,有效去除廢水中的無機鹽分。
納濾(NF):針對特定分子大小的有機物和部分無機鹽進行篩選去除,提高水質(zhì)純度。
3.特殊污染物去除
高級氧化工藝:如臭氧、紫外線氧化或Fenton試劑法,有效分解難降解有機物。
吸附法:利用活性炭或特殊功能材料吸附重金屬和有機污染物。
4.微生物處理
雖然半導(dǎo)體廢水的生物處理難度大,但針對部分可生物降解的有機物,采用特種微生物處理技術(shù)亦是一種補充手段。